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Micro-Hybrid 雙通道二氧化硫熱電堆探測器 基于MEMS技術的高靈敏度熱電偶雙探測器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。它用于通過參考通道測量二氧化硫。檢測器芯片的輻射敏感熱電偶檢測與上游濾光片的透射范圍相對應的光譜范圍。

Micro-Hybrid 單通道一氧化碳熱電堆探測器 基于MEMS技術的高靈敏度熱電堆單通道探測器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。濾光片的參數(shù)使檢測器非常適合測量一氧化碳（CO）的濃度。

Micro-Hybrid 單通道二氧化碳熱電堆探測器 基于MEMS技術的高靈敏度熱電堆單通道探測器，帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。由于濾光片的參數(shù)，該檢測器非常適合測量二氧化硫（SO2）的濃度。檢測器芯片的輻射敏感熱電偶檢測光譜范圍，該光譜范圍對應于各個上游濾光片的透射范圍。

Micro-Hybrid 單通道溫度熱電堆探測器 基于MEMS技術的高靈敏度單通道熱電堆探測器，用于非接觸式溫度測量。

Micro-Hybrid 單通道高溫紅外熱電堆探測器 高靈敏度的單通道熱電堆檢測器，用于高溫范圍內的NDIR氣體分析。 它可以在高達190°C的環(huán)境溫度下進行測量。由于采用了焊接過濾器，檢測器對水分和其他環(huán)境影響不敏感。

Micro-Hybrid 四通道多氣熱電堆探測器基于MEMS技術的高靈敏度熱電堆四極桿探測器，帶有可單獨組合的濾光片，用于氣體分析。

Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋 通過在MEMS加熱板發(fā)射器芯片上實現(xiàn)高度發(fā)展的微納米結構的硅金屬發(fā)射層，Micro-Hybrid可提供具有真實黑體輻射特性的紅外源。強大的紅外發(fā)射器MEMS芯片由高達850°C的加熱板溫度與近1倍的光譜寬帶發(fā)射系數(shù)共同定義。這樣可以在很寬的紅外波長范圍內實現(xiàn)較高的輻射強度。除了高紅外輸出強度外，我們成功開發(fā)的重點還在于長期穩(wěn)定性。

Micro-Hybrid C_MOSI®紅外輻射源TO46帶蓋 用于NDIR氣體分析和其他紅外測量應用的IR輻射源。MEMS紅外發(fā)射器的膜基于C-MOSI®技術，膜溫度高達800°C。它可以長期穩(wěn)定地輸出輻射。發(fā)射器所需的低輸入功率還支持獨立和手持式應用。我們的紅外發(fā)射器中使用的MEMS芯片由多層加熱板膜組成，該膜包含高溫穩(wěn)定的金屬CMOSI層。